Izsmidzinošos mērķus var iedalīt plakanos mērķos un rotējošos mērķos pēc to formas. Plakanie mērķi ir garie mērķi, kvadrātveida mērķi vai apaļi mērķi ar noteiktu biezumu utt., kurus izgatavo, sasienot mērķa sagatavi un pamatplāksni. Izsmidzināšanas laikā mērķa sagatave un substrāts atrodas paralēli viens otram, un starp mērķa sagatavi un substrātu veidojas elektromagnētiskais lauks. Rotējošie mērķi ir cauruļveida mērķi, un izsmidzināšanas laikā pret substrātu veidojas elektromagnētiskais lauks. Planārie mērķi ir daudzpusīgāki, taču tiem ir zemāks izmantošanas līmenis; rotējošiem mērķiem ir augstāks izmantošanas līmenis, bet slikta pārklājuma viendabība.
Rotējošu mērķu priekšrocības
1. Rotējošiem mērķiem ir lielāka materiāla izmantošana
Rotējošie mērķi var vienmērīgi patērēt mērķa virsmu rotācijas laikā, tādējādi uzlabojot mērķa materiāla izmantošanu, kas parasti var sasniegt 70–90%. Tomēr, tā kā izsmidzināšanā ir iesaistīta tikai viena plakanā mērķa fiksētā puse, lietošanas laikā veidosies "rievas" vai "bedrītes", kā rezultātā materiāla patēriņš būs nevienmērīgs, un materiāla izmantošanas līmenis parasti ir 30–40%. Dārgiem mērķiem (piemēram, dārgmetāliem vai retzemju materiāliem) rotējoši mērķi var ievērojami samazināt izmaksas un uzlabot ekonomiskos ieguvumus.
2. Rotējošiem mērķiem ir labāka izsmidzināšanas vienmērība
Rotējošie mērķi darbības laikā griežas nepārtraukti, lai katra pozīcija uz mērķa virsmas būtu vienmērīgi pakļauta plazmai, veidojot vienmērīgāku izsmidzināšanas ātrumu. Tam ir acīmredzamas priekšrocības lietojumos ar augstām prasībām attiecībā uz plēves viendabīgumu (piemēram, displejiem un pusvadītāju procesiem). Plakaniem mērķiem ir nosliece uz nevienmērīgu plēves biezumu lokālas pārmērīgas -izsmidzināšanas dēļ, īpaši lielas-platības substrātu vai nepārtrauktas ražošanas gadījumā.
3. Rotējošiem mērķiem ir ilgāks kalpošanas laiks
Tā kā rotējošie mērķi patērē viendabīgāku materiālu, to kalpošanas laiks parasti ir ilgāks nekā plakanajiem mērķiem. Tas nozīmē, ka vienādos darba apstākļos rotējošā mērķa nomaiņas biežums ir mazāks, kas samazina iekārtu dīkstāves laiku un uzlabo ražošanas efektivitāti. Dažiem nepārtrauktiem ražošanas procesiem, piemēram, liela-laukuma pārklāšanai un ruļļa-uz-pārklāšanai, rotējošais mērķis var ievērojami pagarināt ražošanas ciklu un samazināt uzturēšanas izmaksas.
4. Rotējošiem mērķiem ir augstāka plēves kvalitāte
Rotējošā mērķa izsmidzinātais plēves slānis ir blīvāks un vienmērīgāks, kas ir piemērots dažiem lietojumiem ar ārkārtīgi augstām plēves kvalitātes prasībām (piemēram, augstākās klases elektronisko ierīču un pusvadītāju ierīču ražošanai). Tas ir tāpēc, ka rotējošais mērķis var efektīvi samazināt defektus, ko rada nevienmērīga izsmidzināšana uz mērķa virsmas, un uzlabot plēves slāņa kvalitāti un konsistenci.
Secinājums
Salīdzinot ar plakaniem mērķiem, rotējošiem mērķiem ir augstāks materiālu izmantošanas apjoms, ilgāks kalpošanas laiks, vienmērīgāks izsmidzināšanas efekts un spēja pielāgoties lielai{0}}platībai un lielai{1}}ražošanai. Tas padara rotācijas mērķus par svarīgu izvēli mūsdienu plānslāņa pārklājuma jomā, jo īpaši liela-laukuma pārklājuma, nepārtrauktas ražošanas un augstākās klases elektronisko ierīču ražošanā.